
產品概述:
主要用于4-8英寸砷化鎵、磷化銦等化合物單晶生長
設備由機架、安瓿支撐機構、加熱器和控制系統組成
能夠實現安瓿移動和轉動的精確控制
產品特點:
工業計算機控制系統(WINDOWS系統界面,操作方便簡潔)
關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性
控溫精度高,溫區控溫穩定性好
具有斷電報警、超溫、欠溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能
速度可調的梯形波、三角波及正弦波等旋轉功能
單晶質量高
技術指標:
晶片類型:4/6英寸 工作溫度范圍:1100℃
加熱器最高溫度:1250℃ 控溫精度:±0.5℃
控溫段數:4段 爐腔壓力:4MPa
應用范圍:
廣泛用于材料的坩堝下降的單晶生長