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石墨烯薄膜CVD設備
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發布日期:2020-08-21
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詳細介紹

石墨烯CVD

產品簡介:

本系統是一套完備的石墨烯制備系統,包括硬件和軟件部分。工作在常壓氣氛或真空條件,通過控制,既可以生長出六邊形的石墨烯單晶,也可以生長出花瓣狀的石墨烯的單晶。

產品特點:

u 采用單腔室或雙腔室結構

u 取料腔室快速冷卻

u 該系統主要由電控系統、樣品加熱系統、工藝腔室系統、取放料腔室系統、真空系統、氣路系統、壓力控制系統等組成。

u 結構型式:臥式,間歇連續式自動控制

u 適應材料規格:A3尺寸

u 裝片量:200

u 工作壓力連續可調


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